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产品简介
台阶仪/膜厚仪ET4000系列产品参数
**试片尺寸 | 210×210mm~300×400mm |
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重现性 | 1σ 0.5nm以内 |
测定范围 | Z:100um X:100~305mm (Y移动量:150~400mm) |
分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
测定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
台阶仪可以应用在半导体,光伏/太阳能,光电子,化合物半导体,OLED,生物医药,PCB封装等领域的薄膜厚度,台阶仪测量薄膜厚度,台阶高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),划痕深度,磨损深度,薄膜应力(曲定量率半径法)等定量测量方面。其高精度,高重复性,自动探索样品表面
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